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功率器件

材料

膜厚及不均勻性

元素組成/化學(xué)價態(tài)

外延層載流子濃度測試

曲率半徑測試

形貌分析

少子壽命測試

單晶XRD測試

霍爾測試

外延層厚度檢測

表面平整度檢測

表面粗糙度測試

缺陷檢測與分析

芯片

臺階輪廓掃描

晶圓靜態(tài)參數(shù)測試

器件

浪涌測試

雪崩測試

動態(tài)參數(shù)測試

靜態(tài)參數(shù)測試

熱阻測試

功率循環(huán)

高溫反偏

高溫柵偏

高溫高濕反偏

高溫存儲

溫度循環(huán)

冷熱沖擊

高溫高濕測試

應(yīng)用

雷擊浪涌測試

靜電放電測試

失效分析

工業(yè)CT

SEM檢測

超聲掃描

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